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液氧
不燃，無(wú)色無(wú)味無(wú)臭氣體。用于焊接、不銹鋼制造、冶鐵，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、煉結(jié)等。用作標(biāo)準(zhǔn)氣、平衡氣、零點(diǎn)氣等氣等。
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